声表面波(SAW)传感器是一种无线无源传感器,在元源传感、适应恶劣环境等许多方面具有普通传感器不能实现的优点。阐述了声表面波器件的原理和结构特点,并对射频信号收发、信息处理等关键技术进行详细论述,综述了近些年国内外的相关研究现状,并进行了总结与展望。 具有精度高，响应时间快等优人射声波 IJl射声《11 点。DuXiaosong等人研发了一种用聚甲基硅氧烷材料(PMPS)作为敏感层的甲基膦酸二甲酯（DMMP)传感图1延迟线型声表面波器件 器141，其制备方法是在压电衬底上附上200(Jim的聚甲基Fig1Delay-linetypeSAWdevices 桂氧烧薄膜层。该传感器的响应时间是30s,精度是石英晶中，本文由张家港弯管机网站采集网络www.wangaunjimuju.net振型声表面-数控滚圆机电动液压滚圆机滚弧机价格低数控弯管机多少钱声表面波通过安置在中间的叉指换能器转换回射频电 体微天平（QCM)传感器的300倍。周文等人研发了一种用磁波信号,结构特点如图2所示。 聚苯胺-多壁碳纳米管薄膜层作为敏感层的N02传感器.‘叫,其制备方法是在石英基片上用磁控溅射和光刻技术■顏麵牛’；^論.1:入射声波1人，波1 三氯甲烷作为溶剂涂在器件表面制成敏感层,该传感器的\反射栅Z 响应时间和恢复时间分别为600,400s左右。除此之外，金图2谐振型声表面i皮n彳牛 浩等人在柔性衬底上也实现了声表面波温度传感器的研其制备方法是在聚酰亚胺柔性衬底上利用直流磁控与延迟线型声表面波传感器相比，谐振型声表面波传 ?射的方法沉积一层ZnO薄膜，该传感器能够在25~90T：感器具有较高的y值,而且在同样的精度要求下，尺寸可以 的温度范围内测量温度，并且整个声表面波器件可以弯曲做得更小[4]。 工作，以适应复杂的测量表面。1.4压电基片 2无线收发与信号处理声表面波器件中有较多变化和选择的是其压电基片的 声表面波器件需要将问询信号有效接收,完成电磁波-材料和工艺实现。在一些测量目标下，压电基片的特性直 声波转换，然后声波经由传输、反射再通过声波-电磁波转接受到被测量参数的影响，如在声表面波温度传感振型声表面-数控滚圆机电动液压滚圆机滚弧机价格低数控弯管机多少钱本文由张家港弯管机网站采集网络www.wangaunjimuju.net