制作高闪耀角一致性的曲面闪耀光栅需要工作台能够进行曲线拟合运动,因此针对曲面闪耀光栅离子束刻蚀机三维工作台的控制算法开展研究。首先,介绍了曲面闪耀光栅离子束刻蚀机三维工作台的原理方案。接着,根据曲面刻蚀机的实际使用要求,给出了工作台运动轨迹的理论计算方法。然后,提出了一种适用于工作台的圆弧拟合算法,实现了工作台所需的曲线拟合运动。最后,在多组工作参数下开展了三维工作台运动轨迹的测量实验,并将理想轨迹与实测轨迹进行了对比。实验结果表明:工作台进行15个周期的直线拟合运动的累积定位误差小于0.218mm,角度误差小于0.02°;进行40个周期的曲线拟合运动的累积定位误差小于0.2mm,转角误差在-0.2°~0.1°。此方法实现了三维运动工作台扫描刻蚀与摆动刻蚀的功能,工作台的稳定性、精度、抗干扰能力满足设备使用要求。 合算法，圆弧拟合算法的运动轨迹曲线光滑，稳定性、收敛性较好。由于离子束刻蚀自身工艺的原因，可靠性设计-数控滚圆机滚弧机张家港电动液压滚圆机滚弧机倒角机工作台的运动精度要求不高，但离子束入射角的调节精度、摆动半径的调节精度要求较高：三维工作台的摆角定位精度要达到±０．３°。   本文由公司网站滚圆机网站采集转载中国知网资源整理!www.gunyuanji.name本文针对曲面闪耀光栅刻蚀机摆动刻蚀的需求，介绍了三维运动工作台的原理方案，对工作台的运动轨迹进行了理论计算，提出了基于三维旋转工作台的圆弧拟合算法，并实现了工作台的曲线拟合运动，满足曲面闪耀光栅刻蚀中三维工作台对运动轨迹、拟合运动精度以及稳定性、可靠性的要求。图１三维工作台示意图Ｆｉｇ．１Ｓｃｈｅｍｅｏｆ３－Ｄｓｔａｇｅ２曲面刻蚀机三维工作台原理图１所示为曲面光栅刻蚀机三维运动工作台。工作台及其传动系统主要包括内部布有冷却水槽的Ｌ形立式工作台、Ｘ－Ｙ二维滑台和θ轴水平旋转台、刚性中间层及其运动驱动系统。工作５８９第３期沈晨，等：用于曲面光栅刻蚀的工作台轨迹拟合及测鉴于传统确定性优化方法没有考虑结构参数的随机性对结构性能的影响,本文提出了一种基于可靠性灵敏度的锁紧弹片结构优化方法。首先,以某磁悬浮控制力矩陀螺锁紧弹片为研究对象,研究了有限元建模和失效模式;然后,考虑弹片结构尺寸和材料参数的随机性,结合响应面法与一次二阶矩法,研究了串联失效模式下弹片的可靠度计算方法,进而推导了可靠性关于设计变量均值和方差的灵敏度计算公式;最后,根据灵敏度分析结果,研究确定了弹片结构优化策略,构建了弹片可靠性优化模型。分析了安全系数法和可靠性法优化结果的差异,结果表明:与安全系数法相比,可靠性法的优化结果更好;在保证弹片可靠度的前提下,采用可靠性优化方法不仅使弹片质量下降了23.71%,使锁紧机构更加优化,而且使陀螺房质量也下降了0.98kg,有利于磁悬浮控制力矩陀螺整机结构的轻量化。可靠性设计-数控滚圆机滚弧机张家港电动液压滚圆机滚弧机倒角机   本文由公司网站滚圆机网站采集转载中国知网资源整理!www.gunyuanji.name